[发明专利]一种高品质稀土掺杂的硫系薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010019527.4 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111204973A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 张斌;吴家越;李朝晖;杨泽林;曾平羊;张涛;张鸣杰 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C03C3/32 | 分类号： | C03C3/32;C03B19/00;C03B5/187 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于硫系薄膜技术领域，更具体地，涉及一种高品质稀土掺杂的硫系薄膜的制备方法。以配制所得的玻璃溶液为原材料、惰性耐高温磁子为搅拌元件，配合超声机与磁力搅拌器使薄膜均匀、离心机使杂质沉淀，对密闭容器中的玻璃溶液进行搅拌、离心后，经旋涂和退火制备得高品质稀土掺杂得硫系薄膜。利用旋涂法制备稀土掺杂的硫系薄膜，可有效避免其他制备方法过程中的高温导致薄膜产生析晶现象。同时，旋涂法的整个制备过程在手套箱中低温进行，可有效避免制备过程中高温引起的杂质对薄膜造成污染，在保证纯度的同时，可制备出高品质的稀土掺杂硫系薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质 稀土 掺杂 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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