[发明专利]抛光料浆组合物有效
| 申请号： | 201980084413.3 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN113242891B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 崔秀完;金廷润;崔洛炫;梁海元 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;C09G1/04;H01L21/762 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 杜兆东 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光料浆组合物。根据本发明的一实施例的抛光料浆组合物包括：包含抛光粒子的抛光液；以及包含非离子高分子聚合物及选择比调节剂的添加液。本发明的抛光料浆组合物具有氧化硅膜和多晶硅膜的高抛光率，在半导体元件的浅槽隔离(STI)抛光之后没有留下杂质，并且能够减少氧化硅膜凹陷的量以及减少刮痕。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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