[发明专利]固化膜的制造方法、树脂组合物、固化膜、层叠体的制造方法及半导体元件的制造方法有效
| 申请号： | 201980067579.4 | 申请日： | 2019-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112888714B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 福原庆;山崎健太 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C08F2/00 | 分类号： | C08F2/00;C08F2/44;C08F283/04;C08F290/14;C08L79/04;G03F7/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种固化膜的制造方法，其包括将包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体和自由基聚合性单体的树脂组合物适用于基板来形成膜的工序和将膜在氧分压为6～150Pa的气氛下加热固化的工序。也提供一种树脂组合物、固化膜、层叠体的制造方法及半导体元件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 制造 方法 树脂 组合 层叠 半导体 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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