[发明专利]雾发生装置以及雾成膜方法和雾成膜装置有效
| 申请号： | 201980063513.8 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN112752616B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 西康孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B05B17/04 | 分类号： | B05B17/04;B05C9/10;B05D1/02;B05D3/06;C23C16/448;C23C16/455;C23C24/08;H01L21/205;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于洁;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种雾发生装置，为了在被处理物(P)的表面堆积由材料物质构成的层，将包含含有材料物质的微粒或分子的溶液的雾(Mst)的载气(CGS)喷雾至被处理物(P)的表面。雾发生装置具备：雾发生部(14)，将溶液雾化，送出包含雾(Mst)的载气(CGS)；以及紫外线照射部(20B)，在直至来自雾发生部(14)的载气(CGS)被喷雾至被处理物(P)的表面为止的流路中，对通过载气(CGS)而悬浮的雾(Mst)照射波长400nm以下的紫外线光。 | ||
| 搜索关键词： | 发生 装置 以及 雾成膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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