[发明专利]最佳量测指导的系统和方法在审
| 申请号： | 201980056714.5 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112689802A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 浦凌凌;方伟;赵楠;周文天;王腾;徐明 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/86 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于最佳电子束量测指导的系统和方法。根据某些实施例，该方法可以包括：接收样本的获取的图像；基于对获取的图像的分析确定图像参数集；基于图像参数集确定模型参数集；基于模型参数集生成模拟图像集。该方法还可以包括：对模拟图像集执行临界尺寸的测量，并且将临界尺寸测量与模型参数集进行对比，以基于来自模拟图像集和模型参数集的信息的对比来提供指导参数集。该方法还可以包括接收与包括临界尺寸均匀性的目标参数相关联的辅助信息。 | ||
| 搜索关键词： | 最佳 指导 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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