[实用新型]一种用于硅片卸料升降的装置有效
| 申请号： | 201922496271.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211867475U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;颜凯;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩嫚嫚;赵燕力 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型为一种用于硅片卸料升降的装置，包括，晶圆盒，顶部开口且能升降地设置于卸料工位，晶圆盒能接载且存储硅片；水箱，顶部开口且固定设置于晶圆盒的下方，水箱用于储水且所述水箱内水呈循环流动状态，晶圆盒能下降浸入水箱内浸润存储硅片且能自水箱内上升；升降结构，连接于晶圆盒上，用于升降晶圆盒；旋转结构，连接于升降结构上，用于转动上升后的晶圆盒以倾倒盒内残存水；控制部，升降结构和旋转结构均与控制部电连接。该装置卸料稳定，且能时刻保持硅片湿润存储，保证抛光后储存过程中硅片的表面质量，操作简单，方便使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 卸料 升降 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江芯晖装备技术有限公司，未经浙江芯晖装备技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922496271.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：抛光垫清洗装置
- 下一篇：一种适用于氨氮偏高的生活污水处理系统
