[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922127965.8 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211184242U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;冯丽欣 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，其中，所述背极板电极位于所述膜片的可动区域上方，并且背极板电极的面积小于等于膜片的可动区域的面积。该MEMS麦克风采用背极板电极的图案限定有效电容面积，以抑制寄生电容和工艺波动对器件能力的不利影响，以及提高器件的工作灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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