[实用新型]一种半导体产品全自动超声清洗机有效
| 申请号： | 201922101898.2 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN211412984U | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 李泽文;徐海洪 | 申请（专利权）人： | 佛山市顺德区瑞淞电子实业有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 佛山市名诚专利商标事务所(普通合伙) 44293 | 代理人： | 卢志文 |
| 地址： | 528300 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体产品全自动超声清洗机。它包括机架，所述机架上设有机械手升降机构、机械手平移机构、多只提料机械手、多个清洗槽以及清洗剂冷却系统。所述机械手升降机构用于驱动机械手平移机构和多只提料机械手升降。所述机械手平移机构用于驱动多只提料机械手水平移动。所述多只提料机械手，依次设于机械手平移机构上，用于勾起清洗槽内的清洗篮，并带动清洗篮平移或升降。所述多个清洗槽位于提料机械手的下方，清洗槽的底部的外壁上设有超声波振荡器。本实用新型的多个提料机械手可以同步平移和升降，从而能够对对多个清洗篮同步进行提料、放料、移料操作，从而提升整体的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 产品 全自动 超声 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
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