[实用新型]一种硅片清洗设备有效
| 申请号： | 201922014319.0 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN211100448U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭;李雄朋;任金枝 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B11/00;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 汪海屏;刘潇 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片清洗设备，包括：框架组件；工艺机构，设于框架组件中，数量为至少两个，适于对硅片进行工艺处理；传输组件，与框架组件连接，并适于沿框架组件移动并传输硅片，以使得硅片由任一工艺机构移动至任另一工艺机构；隔离组件，设于框架组件中，通过在开启状态和关闭状态之间切换，以使得任一工艺机构的内部空间与外部空间相互连通或相互分隔；其中，工艺机构包括至少一个的清洗组件和至少一个的烘干组件，清洗组件适于对硅片进行清洗，烘干组件适于对硅片进行烘干，清洗组件中设有匀流装置。本实用新型能够提高硅片的清洗效率和清洗质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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