[实用新型]一种用于半导体的集成式纯水装置有效
| 申请号： | 201921801496.7 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN211056870U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 戴梅红;张平;陈以超;肖强;严操红 | 申请（专利权）人： | 江苏源邦环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/06 | 分类号： | C02F9/06;C02F103/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于水处理技术领域，具体涉及一种用于半导体的集成式纯水装置。该用于半导体的集成式纯水装置，包括纯水进水管路、纯水浓水回水管路、去离子水设备和纯水箱，所述纯水进水管路并联有多组第一反渗透装置，并通过纯水产水管路与多组去离子水设备连通，各第一反渗透装置与纯水产水管路之间并联有第二反渗透装置，第二反渗透装置通过纯水浓水回水管路与第一过滤水槽连通，所述各去离子水设备上分别连通有EDI产水管路和EDI浓水回水管路，各EDI产水管路分别与纯水箱连通，各EDI浓水回水管路分别与第二过滤水槽连通。其有益效果是：结构简单，管路布设简单，回收率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 集成 纯水 装置 | ||
【主权项】：
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