[实用新型]谐振腔式ECR等离子体源装置有效
| 申请号： | 201921134276.3 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN211792198U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;张仲恺;雷久侯;曹金祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本实用新型公开了一种谐振腔式ECR等离子体源装置，本实用新型技术方案在真空谐振腔内设置以天线密封罩，将辐射微波的天线置于该天线密封罩内，可以避免放电天线对所述真空谐振腔内ECR等离子体污染。可以通过所述ECR控制元件调节电子回旋共振所需磁场大小，进一步增加电子密度。本实用新型技术方案所述装置具有结构简单、电磁波‑等离子体能量耦合效率高的优点，可以产生电子密度高达10 |
||
| 搜索关键词： | 谐振腔 ecr 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921134276.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自动更换滤纸的过滤装置
- 下一篇：一种幼儿教育防碰撞玩具架
