[实用新型]OLED蒸镀制程用精密金属遮罩有效
申请号: | 201920703417.2 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN210163514U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 蒋国忠;宋荣华;高远;王志安 | 申请(专利权)人: | 江西联创致光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 黄新平 |
地址: | 330029 江西省南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种OLED蒸镀制程用精密金属遮罩,包括遮罩本体,遮罩本体由遮罩本体无效区和遮罩本体有效孔洞开口区组成,遮罩本体有效孔洞开口区内部开有基准孔洞,其特征在于,遮罩本体有效孔洞开口区外层孔洞及有效孔洞开口区次外层孔洞的孔径小于基准孔洞,有效孔洞开口区外层孔洞的孔径为基准孔洞的25%~50%,有效孔洞开口区次外层孔洞的孔径为基准孔洞的50%~75%。本实用新型的OLED蒸镀制程用精密金属遮罩,通过将有效孔洞开口区外层孔洞及有效孔洞开口区次外层孔洞的孔径改小,使得遮罩本体有效孔洞开口区边缘的无效区间距增大,从而能提高有效孔洞开口区边界的结构强度,大大降低有效孔洞开口区边界的折伤不良率。 | ||
搜索关键词: | oled 蒸镀制程用 精密 金属 | ||
【主权项】:
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