[实用新型]清洗装置有效

专利信息
申请号: 201920414814.8 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN209935364U 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 颜超仁;张文福;刘家桦;叶日铨 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) 代理人: 余明伟
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种清洗装置,清洗装置包括:清洗槽、清洗液喷头及气体喷头;清洗槽包括内槽及位于内槽外侧的外槽,外槽包围内槽,且外槽的底面低于内槽的顶面;清洗液喷头形成清洗液面,且清洗液面的投影覆盖位于内槽中的传送手臂;气体喷头位于清洗液喷头的上方,气体喷头形成气体面,气体面位于清洗液面的上方,且气体面的投影覆盖清洗液面。本实用新型的清洗装置,通过清洗液喷头对传送手臂进行清洗,通过气体喷头对传送手臂进行清洁及干燥,且通过气体喷头还可防止清洗液的飞溅,从而提高传送手臂的清洗效果、提高晶圆的蚀刻率及晶圆的质量。
搜索关键词: 气体喷头 内槽 清洗液喷头 清洗装置 手臂 清洗液 传送 外槽 本实用新型 清洗液面 投影覆盖 气体面 清洗槽 晶圆 清洗效果 蚀刻率 飞溅 底面 顶面 清洗 包围 清洁
【主权项】:
1.一种清洗装置,其特征在于,所述清洗装置包括:/n清洗槽,所述清洗槽包括内槽及位于所述内槽外侧的外槽,所述外槽包围所述内槽,且所述外槽的底面低于所述内槽的顶面;/n清洗液喷头,所述清洗液喷头形成清洗液面,且所述清洗液面的投影覆盖位于所述内槽中的传送手臂;/n气体喷头,所述气体喷头位于所述清洗液喷头的上方,所述气体喷头形成气体面,所述气体面位于所述清洗液面的上方,且所述气体面的投影覆盖所述清洗液面。/n
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  • 本实用新型提供一种清洗设备,结构简单,方便对待洗物进行清洗。本实用新型一种清洗设备的技术方案包括:至少一个清洁箱,还包括水箱或清洗剂箱,所述清洁箱用于放置待洗物,所述水箱内设有水,所述清洗剂箱内设有清洗剂;所述水箱或所述清洗剂箱与所述清洁箱通过第一流路连通,在水和清洗剂两个溶剂中向所述清洁箱择一提供;所述第一流路上还连接有管道,用于提供另一溶剂。根据上文内容,可以理解的是,当所述清洗设备包括清洁箱与水箱时,设定两者通过第一流路连接,水箱通过第一流路向清洁箱提供水,所述第一流路还与清洗剂管道连接,所述清洗剂管道用于向第一流路上加入清洗剂。
  • 锻件氧化皮的清理装置-201920754783.0
  • 张琦;童翔 - 南京中宁锻造有限公司
  • 2019-05-23 - 2020-02-14 - B08B3/02
  • 本实用新型涉及一种锻件氧化皮的清理装置,应用在锻件加工设备领域,其技术方案要点是:包括安置在地面上的清洗箱、蓄水箱、高压泵和基架,清洗箱上开设有供基架穿过的通槽,基架上转动连接有若干传输辊,基架上设有用于驱动传输辊转动的驱动件,清洗箱内通过卡箍固定有若干间隔排布的输水管,输水管位于卡箍内侧,卡箍的两端均通过紧固螺钉连接在清洗箱上,各个输水管上均连接有若干喷头,各个输水管的一端封闭,另一端螺纹连接有直通管,各个直通管上均连接有一端穿出清洗箱外的输水胶管,各个输水胶管通过分水盒连接;其优点是:减小了锻件在去除氧化皮时容易损伤锻件表面的情况发生。
  • 一种清洗水箱-201920757678.2
  • 魏智鹏;史翠芳;冯兵昌;唐芳华;郑宏民 - 科大科技(广州)有限公司
  • 2019-05-23 - 2020-02-14 - B08B3/02
  • 本实用新型提供一种清洗水箱,结构简单,方便清洗。本实用新型一种清洗水箱的技术方案为:所述清洗水箱为一开口的中空腔体;所述中空腔体内设有至少一个清洗定位格,所述清洗定位格用于放置待清洁物;所述清洗定位格具有相对静止状态和工作状态,在工作状态下,所述清洗定位格可转动。由于本实施例中的清洗水箱内设有清洗定位格,清洗定位格内可放置待清洁物,清洗水箱在工作状态时,清洗定位格处于工作状态即可转动,从而实现待清洁物边转动边清洁,清洁效率高。进一步的,清洁定位格的尺寸不一,可实现不同日用物如眼镜、首饰、手表的清洁。
  • 一种牧草收割去土机-201920763193.4
  • 王国生;刘晓涛;李向庆;朱刚;刘皓;吴正文 - 甘肃威尔晟农业装备制造有限公司
  • 2019-05-25 - 2020-02-14 - B08B3/02
  • 本实用新型公开了一种牧草收割去土机,包括去土箱和凹槽,所述去土箱内壁中部对称开设有两个滑槽,两个所述滑槽之间滑动套有滑板;本实用新型的经过收割切碎后的牧草可通过进料口进入到圆形滤网筒中,圆形滤网筒会随电机输出端进行转动,配合去土箱内水的冲刷,洗去牧草表面的绝大部分土壤,电动伸缩杆在清洗结束会缩短,使去土箱内部水位下降,第一挡板上滑露出通孔,便于操作者使用工具将圆形滤网筒内经过清洗后的牧草进行取出,第二挡板可在圆形滤网筒转动时,挡住去土箱底部扬起的部分泥灰,提高牧草表面的清洁度,整体上提高了牧草的可食用性,防止了牲畜食用过多的土壤后而引起疾病,提高了牧草收割去土机的实用性。
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