[实用新型]对准标记有效
| 申请号： | 201920252479.6 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN209641653U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 曹盛宗 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;高德志<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 230001安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种对准标记，包括：基底；位于基底上的对准标记，所述对准标记存在损坏处；修补层，对所述对准标记的损坏处进行修补，将存在修补层的对准标记作为新的对准标记。修补后的对准标记不存在缺陷或者即使存在缺陷，该缺陷已经不足以影响对准，因而将修补后的对准标记作为新的对准标记进行对准时，使得对准过程可以顺利进行，同时保证对准的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 对准标记 修补 对准 修补层 基底 保证 | ||
【主权项】：
1.一种对准标记，其特征在于，包括：/n基底；/n位于基底上的对准标记，所述对准标记存在损坏处；/n修补层，对所述对准标记的损坏处进行修补，将存在修补层的对准标记作为新的对准标记。/n
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