[实用新型]一种镶嵌层叠式XYZ三维动态微驱动装置

摘要

本实用新型提供一种镶嵌层叠式XYZ三维动态微驱动装置，包括底板、设于底板上方的Y向精密补偿单元、自上至下贯穿于底板和Y向精密补偿单元的X向精密补偿单元；还包括固设于X向精密补偿单元内部、且固设于终端平台的下表面、用以补偿终端平台的Z轴方向微位移的Z向精密补偿单元；还包括用以读取X轴、Y轴和Z轴方向位移的读取单元，以及用以分别控制X向精密补偿单元、Y向精密补偿单元及Z向精密补偿单元的工控机。本实用新型所提供的镶嵌层叠式XYZ三维动态微驱动装置，采用镶嵌层叠式结构，结构紧凑、架构精简，有效地节省了安装空间、提高了运动精度，实现了三维协同动态补偿、动态减振的功能，确保了终端平台的精密运动。

主权项

1.一种镶嵌层叠式XYZ三维动态微驱动装置，其特征在于，包括底板(1)，设于所述底板(1)上方、用以补偿终端平台(8)的Y轴方向微位移的Y向精密补偿单元，以及自上至下贯穿于所述底板(1)和所述Y向精密补偿单元、用以补偿所述终端平台(8)的X轴方向微位移的X向精密补偿单元；还包括固设于所述X向精密补偿单元内部、且固设于终端平台(8)的下表面、用以补偿所述终端平台(8)的Z轴方向微位移的Z向精密补偿单元；还包括用以读取X轴、Y轴和Z轴方向位移的读取单元，以及用以分别向所述X向精密补偿单元、所述Y向精密补偿单元和所述Z向精密补偿单元发送X向、Y向和Z向控制信号，以及接收来自于所述读取单元的读取信号、以分别控制所述X向精密补偿单元、所述Y向精密补偿单元及所述Z向精密补偿单元运行的工控机(9)。