[实用新型]晶振装置以及蒸镀设备有效
申请号: | 201920182068.4 | 申请日: | 2019-02-01 |
公开(公告)号: | CN210481512U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 郑立明;陆鹏;杨硕;张迪;袁亚鸿 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/24;G01N33/00;H03H3/00 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种晶振装置以及蒸镀设备,所述晶振装置包括检测探头、旋转机构、多个晶振以及用于固定安装所述多个晶振的底座;所述晶振包括金属弹片,所述旋转机构的底端与所述底座连接,所述旋转机构的顶端和所述检测探头固定在所述底座的上方;所述旋转机构在接受外部按压力量时,可使得所述金属弹片与所述检测探头接触或者分离。本实用新型公开的晶振装置以及蒸镀设备,通过旋转机构来控制晶振的金属弹片与检测探头接触或者分离,从而延长金属弹片寿命,减少更换金属弹片次数、缩短停机时间,从而降低成本,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 装置 以及 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于云谷(固安)科技有限公司,未经云谷(固安)科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920182068.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类