[实用新型]一种多尺寸通用石英舟有效
申请号: | 201920117213.0 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209328862U | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 徐亮荣;郭辉;张伟 | 申请(专利权)人: | 扬州美和光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;F27D5/00 |
代理公司: | 扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315 | 代理人: | 谢东 |
地址: | 225000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了石英舟领域内的,特别涉及一种多尺寸通用石英舟。该多尺寸通用石英舟包括两个立板和设置于立板间的石英横杆,立板相互平行,石英横杆互相平行并垂直于所述立板,石英横杆上设置有卡槽,立板包括第一石英板与第二石英板,第一石英板与第二石英板错位设置,第一石英板与第二石英板间设置有转轴,第一石英板通过转轴与第二石英板枢接,第一石英板与第二石英板上开设有通孔,第一石英板与第二石英板转动重叠时,通孔相互重合,通孔内插接有用于固定的石英销。本实用新型结构合理,多尺寸通用且能有效降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 石英板 立板 石英舟 石英 横杆 通孔 通用 本实用新型 转轴 错位设置 互相平行 固定的 重合 卡槽 内插 枢接 平行 转动 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种多尺寸通用石英舟,包括两个立板和设置于立板间的石英横杆,所述立板相互平行,所述石英横杆互相平行并垂直于所述立板,所述石英横杆上设置有卡槽,其特征在于:所述立板包括第一石英板与第二石英板,第一石英板与第二石英板错位设置,所述第一石英板与第二石英板间设置有转轴,第一石英板通过转轴与第二石英板枢接,所述第一石英板与第二石英板上开设有通孔,第一石英板与第二石英板转动重叠时,所述通孔相互重合,所述通孔内插接有用于固定的石英销。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造