[发明专利]硅片生产过程的控制系统

摘要

本发明提供了硅片生产过程的控制系统。所述硅片生产过程的控制系统包括：硅片生产设备，适于生产硅片；生产管理系统，与所述硅片生产设备信号连接，适于采集所述生产管理系统的工艺数据，并为所述硅片分配身份信息；控制装置，与所述硅片生产设备和所述生产管理系统分别信号连接，在所述硅片进入所述硅片生产设备时接收来自所述生产管理系统的所述身份信息，并在所述硅片离开所述硅片生产设备时将所述身份信息上传至所述生产管理系统，以使得所述工艺数据与所述身份信息相互关联。本发明能够将每个硅片的身份信息和其工艺数据相互结合，以便对每个硅片的生产过程进行监控和记录。