[发明专利]储液设备、晶圆处理装置以及供液方法在审
| 申请号： | 201911241909.5 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN112916333A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 董佳仁;林育震 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C11/11;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 该发明涉及一种储液设备、晶圆处理装置以及供液方法，能够提高旋涂至目标表面的光阻层的质量，避免最终的光刻结果不佳，提高晶圆生产的良率。其中所述储液设备包括液体缓冲槽，用于盛装液体，还包括超声波震荡器，安装至所述液体缓冲槽，用于使所述液体缓冲槽内盛装的液体震动，以排出所述液体缓冲槽内盛装的液体内的气泡；所述超声波震荡器内设置有换能器，由所述换能器将超声波发射至所述液体缓冲槽内。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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