[发明专利]滤波电路以及半导体设备有效
| 申请号： | 201911154502.9 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111030643B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 王鹏一;韦刚;卫晶 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H03H17/02 | 分类号： | H03H17/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种滤波电路以及半导体设备，该滤波电路包括阻抗传感器、可调电感、可调电感控制器，其中，所述可调电感包括：磁芯、线圈、第一调节结构、第二调节结构，所述线圈缠绕在所述磁芯上，所述第一调节结构用于调节所述线圈接入所述滤波电路的长度，所述第二调节结构用于调节所述磁芯以改变所述可调电感的磁阻；所述阻抗传感器用于检测所述滤波电路的总阻抗值，并将所述总阻抗值发送给所述可调电感控制器；所述可调电感控制器用于在所述总阻抗不等于所述总阻抗设定值时，先后调节所述第一调节结构与所述第二调节结构，使所述总阻抗达到所述总阻抗设定值。通过本发明提高了滤波电路的滤波效果。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波 电路 以及 半导体设备 | ||
【主权项】：
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