[发明专利]MEMS微镜、激光雷达及自动驾驶设备在审
| 申请号： | 201911069152.6 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN111562560A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 李帆雅;沈文江 | 申请（专利权）人： | 苏州希景微机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G01S17/08;G01S17/88 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 王广涛 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及雷达技术领域，提供了一种MEMS镜面、激光雷达及自动驾驶设备。MEMS镜面包括框架、转轴、镜面、磁铁和线圈；转轴包括互相垂直的第一转轴和第二转轴；镜面通过转轴与框架连接，镜面用于反射激光光束，镜面能够绕第一转轴和第二转轴扭转；线圈设置于框架上；磁铁包括相互独立的第一磁铁组和第二磁铁组，第一磁铁组包括至少一对磁铁，第二磁铁组包括至少一对磁铁，第一磁铁组与线圈产生驱动镜面绕第一转轴扭转的驱动力，第二磁铁组与线圈产生驱动镜面绕第二转轴扭转的驱动力。本发明实施例降低了第一转轴和第二转轴运动时的相互干扰。 | ||
| 搜索关键词： | mems 微镜 激光雷达 自动 驾驶 设备 | ||
【主权项】：
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