[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池的薄膜封装方法在审

申请号：	201911005371.8	申请日：	2019-10-22
公开（公告）号：	CN110718635A	公开（公告）日：	2020-01-21
发明（设计）人：	段羽;赵文卓;王浩然;陈平;陈琛;刘云飞;张健	申请（专利权）人：	吉林大学
主分类号：	H01L51/48	分类号：	H01L51/48;H01L51/44
代理公司：	22201 长春吉大专利代理有限责任公司	代理人：	刘世纯;王恩远
地址：	130012 吉***	国省代码：	吉林;22
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摘要：	一种钙钛矿太阳能电池的薄膜封装方法，属于薄膜封装技术领域。首先是在钙钛矿太阳能电池的上表面制备ALD‑AlOx薄层作为防潮层和保护壳，该层起到封装作用，同时也作为PMMA(存储TMA)的基底；再在ALD‑AlOx薄层上制备PMMA(存储TMA)作为吸水牺牲层，然后在其上制备ALD‑AlOx作为防潮层和保护壳。本发明利用原子层沉积技术将TMA作为除潮剂注入在PMMA层中，填充了PMMA薄层中的空隙，降低了PMMA自身的水汽透过率，并且将TMA的甲基存储在PMMA层中。TMA消耗进入器件的H
搜索关键词：	钙钛矿薄层制备太阳能电池存储保护壳防潮层原子层沉积技术薄膜封装技术水汽透过率原子层沉积薄膜封装低温沉积双重保护水汽除潮剂热损伤上表面水反应牺牲层阻挡层基底吸水封装填充消耗
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【主权项】：

1.一种钙钛矿太阳能电池的薄膜封装方法，其步骤如下：/nA.第一层ALD-AlOx作为防潮层和保护壳/n1)将在干净基底上制备的钙钛矿太阳能电池放入ALD设备反应腔室的衬板上，将反应腔室抽真空至0.01～0.05Torr后通入载气；然后将反应腔室以及气体管道升温至80～300℃，衬板升温至40～60℃；/n2)待温度和气压稳定后向反应腔室内随载气通入脉冲时间为0.01～0.03s的前驱体TMA，使TMA吸附在钙钛矿太阳能电池的顶部表面；/n3)随后向反应腔室内通入20～40s的惰性气体吹扫多余的未吸附在电池表面上的TMA；/n4)接着向反应腔室内随载气通入脉冲时间为0.01～0.03s的氧化剂H

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摘要：本发明公开了一种低温淬冷制备钙钛矿薄膜的方法及其应用，属于太阳能电池技术领域，包括以下步骤：(1)将钙钛矿前驱体溶液涂布在基底上；(2)将涂布好的液膜浸泡在淬冷剂中进行淬冷；(3)将淬冷过的薄膜取出，用气体进行吹干；(4)将吹干后的薄膜在一定温度下进行退火。本发明利用低温淬冷法制备得到的钙钛矿薄膜，采用绿色环保的淬冷剂作为溶剂萃取剂，没有使用有毒的反溶剂，没有添加任何表面活性剂，所制备的薄膜致密且无孔洞，具有很高的吸光系数和载流子迁移率，并且使用该薄膜制作的钙钛矿太阳能电池仍具有很高的光电转换效率和稳定性。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择

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