[发明专利]一种液态金属薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910976345.3 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112662999A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宜伟;韩欣彤;李法利;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/20;C23C14/54 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 赵兴华 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种液态金属薄膜的制备方法。该方法采用热蒸发技术，将液态金属作为蒸发源蒸发沉积在衬底表面形成液态金属薄膜，在此过程中将蒸发沉积过程分多次进行，相邻两次之间通入气体，使沉积的液态金属粒子表面被氧化，有利于降低液态金属粒子在沉积过程中的团聚，提高液态金属粒子在衬底表面的分散均匀性，经多次沉积形成的薄膜整体具有导电性。另外，本发明可通过蒸发参数的设置和/或沉积次数的调控而控制液态金属薄膜的厚度，得到电阻从欧姆到兆欧级别的液态金属薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 金属 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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