[发明专利]一种抗氧化的氧化铝/氮化钛硅复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公布的抗氧化的氧化铝/氮化钛硅复合涂层是由CoNiCrAlY高熵合金粘结层、α‑Cr2O3氧化物模板层、α‑Al2O3氧化物核心层、TiSiO氧化物过渡层、TiSiN氮化物表层五个子层构成的整体，这五个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为1～3.5μm。其制备方法为：基底被加热和离子刻蚀后，先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CoNiCrAlY层；然后使用阴极电弧离子镀工艺，再继续依次沉积α‑Cr2O3层、α‑Al2O3层、TiSiO层和TiSiN层。α‑Al2O3氧化物涂层与氮化物涂层的有机结合，使得涂层在高温工作条件下既具有很好的抗氧化性，又表现出良好的耐磨性，且制备方法简单，易于实施。

主权项

1.一种抗氧化的氧化铝/氮化钛硅复合涂层，其特征在于，涂层是由高熵合金粘结层、氧化物模板层、氧化物核心层、氧化物过渡层、氮化物表层五个子层构成的整体，这五个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为1～3.5μm。/n