[发明专利]一种电解蚀刻装置在审
| 申请号： | 201910829069.8 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110592650A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 刘建波;朱爱明;吴志鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山东威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/02 | 分类号： | C25F3/02;C25F7/00 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑越 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于电解蚀刻领域，用于提供一种便于控制蚀刻速度的电解蚀刻装置，其技术方案要点包括：一种电解蚀刻装置，包括反应单元，反应单元包括阴极、阳极、电解液，所述阳极用导电夹头连接待蚀刻件，所述待蚀刻件的待蚀刻部分浸没在电解液中，包括数段电解槽，阳极在各段电解槽之间移动，阴极与电解槽之间的相对位置保持不变，每段电解槽内的电流大小各自对应控制不同蚀刻量。适用于蚀刻工况，能够通过逐步蚀刻同一块待蚀刻板来达到降低一次性蚀刻过多的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 电解槽 阳极 阴极 电解蚀刻装置 反应单元 电解液 技术方案要点 一次性蚀刻 导电夹头 电解蚀刻 位置保持 浸没 蚀刻量 刻板 移动 | ||
【主权项】：
1.一种电解蚀刻装置，包括反应单元(1)，反应单元(1)包括阴极(11)、阳极(12)、电解液，所述阳极(12)用导电夹头连接待蚀刻件，所述待蚀刻件的待蚀刻部分浸没在电解液中，其特征在于，包括数段电解槽(2)，阳极(12)在各段电解槽(2)之间移动，阴极(11)与电解槽(2)之间的相对位置保持不变，每个电解槽(2)内的电流大小各自对应控制不同蚀刻量。/n
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