[发明专利]一种压阻压力传感器芯片在片测试装置及使用方法在审
| 申请号： | 201910725191.0 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110346083A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张海洋;刘伟;吕文波 | 申请（专利权）人： | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器芯片测试技术领域，尤其是一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，包括控制主机、压力控制装置、压力空气探针和测试仪表，所述控制主机用于远程控制压力控制装置，并接收压力控制装置反馈的信号，所述压力控制装置接收到控制主机的信号后，输出对应压力的压缩空气到压力空气探针，压力空气探针将接收到的压缩空气喷射至压阻压力传感器芯片的相应区域上，压阻压力传感器芯片与测试仪表通信连接，压阻压力传感器芯片接收到压力空气探针的空气压力后，会输出相应的电信号至测试仪表，从而完成压阻压力传感器芯片的在片测试，本发明便于更快速、更准确地指导晶圆制程工艺的优化。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻压力传感器 压力控制装置 芯片 压力空气 探针 测试仪表 控制主机 在片测试 测试技术领域 压缩空气喷射 传感器芯片 输出 空气压力 通信连接 相应区域 压缩空气 远程控制 晶圆 制程 反馈 优化 | ||
【主权项】：
1.一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，其特征在于：包括控制主机、压力控制装置、压力空气探针和测试仪表，所述控制主机用于远程控制压力控制装置，并接收压力控制装置反馈的信号，所述压力控制装置接收到控制主机的信号后，输出对应压力的压缩空气到压力空气探针，压力空气探针将接收到的压缩空气喷射至压阻压力传感器芯片的相应区域上，压阻压力传感器芯片与测试仪表通信连接，压阻压力传感器芯片接收到压力空气探针的空气压力后，会输出相应的电信号至测试仪表，从而完成压阻压力传感器芯片的在片测试。
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