[发明专利]一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201910588494.2 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110218971B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 徐照英;胡卿卿;王锦标;苏永要;张腾飞;伍太宾 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 重庆晶智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 50229 | 代理人： | 李靖 |
| 地址： | 40216*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法，该多层薄膜从钛合金表面向外依次为氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层、氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层以及掺铝的类金刚石薄膜层；该制备方法为先对钛合金基体进行清洗以及抽真空，溅射沉积氮化钛薄膜层，再溅射沉积碳化钛薄膜层，然后分别重复沉积氮化钛薄膜层与碳化钛薄膜层一次，再制备一层掺铝的类金刚石薄膜层，最后进行溅射后处理。与现有技术相比，本发明制备多层薄膜成品率高、方便、快捷、高效，其制备而成的薄膜与基体、薄膜与薄膜之间结合力大、内应力小，具有很好的耐摩擦磨损性能，可适用于航空航天、地质钻探等高强度作业领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 钛合金 表面 纳米 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜，其特征在于，它是由五层薄膜层构成；从钛合金表面向外依次为氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层、氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层以及掺铝的类金刚石薄膜层。
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