[发明专利]一种干法刻蚀设备有效
| 申请号： | 201910558499.0 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110211860B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 姚海;方兴;杨旭;殷涛;赵瑞;卢海笑;徐海燕;杜婷婷 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干法刻蚀设备，包括相对平行设置的上电极和下电极，所述下电极的四周设有相互独立的分体式整流墙，所述整流墙包括长条状基座，所述长条状基座的上表面设有凹槽，所述凹槽贯穿所述长条状基座的延伸方向。本发明通过在下电极周边设置相互独立的分体式高度可调节的整流墙，整流墙具有更好的扰流效果，提高了刻蚀的均一性，防止部分区域出现刻蚀不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
1.一种干法刻蚀设备，其特征在于：包括相对平行设置的上电极和下电极、以及设置在所述下电极的四周且相互独立的整流墙，待刻蚀的基板放置在下电极上，所述整流墙包括长条状基座，所述长条状基板的上表面设有凹槽，所述凹槽贯穿所述长条状基座的延伸方向。
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