[发明专利]基底加工设备和基底加工方法在审
| 申请号： | 201910547053.8 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110797251A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 森幸博 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11335 北京汇信合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李宏悦 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 基底加工设备的示例包括：台板；用于使所述台板旋转的驱动单元；仅面对所述台板的外边缘的一部分的电极；用于向所述电极供应高频功率的高频功率供应单元；以及用于向所述电极与所述台板之间的间隙供应气体的气体供应装置。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 台板 高频功率 气体供应装置 供应单元 供应气体 基底加工 驱动单元 台板旋转 外边缘 | ||
【主权项】：
1.一种基底加工设备，包括：/n台板；/n驱动单元，其用于使所述台板旋转；/n电极，其仅面对所述台板的外边缘的一部分；/n高频功率供应单元，其用于向所述电极供应高频功率；以及/n气体供应装置，其用于向所述电极与所述台板之间的间隙供应气体。/n
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