[发明专利]异质结分波段探测器及其制备方法与应用

摘要

本发明实施例公开了一种异质结分波段探测器及其制备方法。所述异质结分波段探测器包括对可见光波段响应的第二半导体层，所述第二半导体层具有相对的两个表面，其一表面层叠结合有对紫外波段响应的第一半导体层，另一表面层叠结合有对红外波段响应的第三半导体层，且所述第三半导体层和第二半导体层的长度相对所述第一半导体层的长度依次递减；在所述第一半导体层的一端部表面上设有欧姆接触的第一电极，另一端部表面上设有欧姆接触的第二电极，所述第二半导体层和第三半导体层上分别设有欧姆接触的电极。所述异质结分波段探测器能够同时实现对不同波段的光谱分段吸收探测，而且能够保证探测的灵敏性。

主权项

1.一种异质结分波段探测器，其特征在于：包括对可见光波段响应的第二半导体层，所述第二半导体层具有相对的两个表面，其一表面层叠结合有对紫外波段响应的第一半导体层，另一表面层叠结合有对红外波段响应的第三半导体层，且所述第三半导体层和第二半导体层的长度相对所述第一半导体层的长度依次递减；在所述第一半导体层的一端部表面上设有欧姆接触的第一电极，另一端部表面上设有欧姆接触的第二电极，所述第二半导体层和第三半导体层的一端面均与所述第一电极欧姆接触，所述第二半导体层的另一端面与所述第二电极间隔设置，且在所述第二半导体层另一端部表面上设有第三电极；所述第三半导体层的另一端面与所述第三电极间隔设置，且在所述第三半导体层外表面上设有第四电极。