[发明专利]一种基于MEMS的集成式红外气体传感器

摘要

本发明涉及一种基于MEMS的集成式红外气体传感器，包括PCB、未封装的MEMS红外光源、未封装的红外探测器、气室、滤光片和金属外壳；金属外壳固定在PCB上，金属外壳与PCB形成安装室，未封装的MEMS红外光源、未封装的红外探测器、滤光片和气室设置在安装室中；气室由气室壳体围设而成，气室壳体固定在PCB上，且气室壳体的底部开设有通气孔；PCB上开设有通孔，通气孔与通孔相连通。本发明基于MEMS技术，实现芯片级集成的红外气体传感器，大大减低了红外气体传感器的成本、大大减小红外气体传感器的尺寸，并缩减了体积；同时红外气体传感器具有结构简单、成本低的特点，并且产品一致性好。

主权项

1.一种基于MEMS的集成式红外气体传感器，其特征在于，包括PCB、未封装的MEMS红外光源、未封装的红外探测器、气室、滤光片和金属外壳；所述金属外壳固定在所述PCB上，所述金属外壳与PCB形成安装室，所述未封装的MEMS红外光源、未封装的红外探测器、滤光片和气室设置在所述安装室中；所述气室由气室壳体围设而成，所述气室壳体固定在所述PCB上，且所述气室壳体的底部开设有通气孔；所述PCB上开设有通孔，所述通气孔与所述通孔相连通；所述未封装的MEMS红外光源和所述未封装的红外探测器固定在所述PCB的两端，并且分别位于所述气室壳体的两侧底端；所述未封装的MEMS红外光源与气室壳体的进光孔相连通，所述未封装的红外探测器与气室壳体的出光孔相连通；未封装的MEMS红外光源用于发射红外光；气室为红外光提供传输通道，提供气体与红外光反应的空间，气体进出气室并吸收红外光；滤光片用于把目标气体的特征吸收波长过滤出来；未封装的红外探测器用于探测目标气体吸收后的红外光。