[发明专利]一种MEMS释放架、释放机台及MEMS组件释放的方法在审
| 申请号： | 201910405920.4 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110092344A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 孙传彬;张磊;杨水长;陈文礼;董国强;战毅 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS释放架，包括释放托盘及释放盖板；所述释放托盘包括安置区域，所述安置区域用于放置待释放MEMS组件；所述释放盖板的表面均匀分布有多个通孔；所述释放盖板通过支撑件设置在所述释放托盘上方，与所述释放托盘形成腔体，且所述腔体具有等离子体扩散通道。本申请在现有技术中的释放托盘上增设带孔的释放盖板，避免了等离子体直接冲击所述待释放MEMS组件，保护了晶圆的完整性；同时，所述释放盖板上均匀分布通孔，使所述等离子体尽可能均匀地与所述待释放MEMS组件接触，最终提高了成品的良率，此外，本申请改动小，成本低，易于大规模使用。本申请还提供了一种具有上述有益效果的释放机台及MEMS组件释放的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 释放 托盘 盖板 等离子体 机台 释放架 申请 腔体 通孔 等离子体扩散 支撑件 安置 带孔 晶圆 良率 增设 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS释放架，其特征在于，包括释放托盘及释放盖板；所述释放托盘包括安置区域，所述安置区域用于放置待释放MEMS组件；所述释放盖板的表面均匀分布有多个通孔；所述释放盖板通过支撑件设置在所述释放托盘上方，与所述释放托盘形成腔体，且所述腔体具有等离子体扩散通道。
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