[发明专利]一种Al-Cr金属复合涂层的高通量制备方法有效

专利信息
申请号: 201910348579.3 申请日: 2019-04-28
公开(公告)号: CN109943813B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 沙江波;李艳;赵秀云 申请(专利权)人: 北京航空航天大学
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/16
代理公司: 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 代理人: 王振佳
地址: 100191*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种Al‑Cr金属复合涂层的高通量制备方法,该方法利用非自耗真空电弧技术制备Al靶材、Cr靶材以及Co‑9Al‑9W‑0.04B基板,再利用多弧离子镀技术,在基板上进行镀膜,所形成的金属复合涂层中,元素Al和元素Cr成分含量随位置连续变化。本发明的制备方法有利于制备不同元素比例的Al‑Cr金属复合涂层,并可以通过高温腐蚀实验有效的筛选出抗热腐蚀效果最佳的Al‑Cr元素配比,有效避免了多次实验,大大降低了工作量。
搜索关键词: 一种 al cr 金属 复合 涂层 通量 制备 方法
【主权项】:
1.一种Al‑Cr金属复合涂层的高通量制备方法,具体包括以下步骤:(1)利用真空非自耗电弧熔炼技术分别制备Al靶材和Cr靶材;(2)利用真空非自耗电弧熔炼技术制备Co‑9Al‑9W‑0.04B基体;(3)将所述Al靶材安装在转接板上方,所述Cr靶材安装在转接板下方,再将转接板安装于阴极矩形磁控靶上,将Co‑9Al‑9W‑0.04B基体悬挂在工件架上,利用多弧离子镀技术,制备高通量的Al‑Cr金属复合涂层。
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