[发明专利]一种光谱诊断辅助装置有效
| 申请号： | 201910309984.4 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109959647B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 邓子谦;毛杰;张岩;刘敏;张小锋;牛少鹏;邓春明;邓畅光;杨焜;宋琛 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨勋 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光谱诊断辅助装置，涉及超低压等离子喷涂的光谱诊断技术领域。该装置用于配合光学发射光谱仪监测超低压等离子喷涂装置的等离子射流特性。其包括移动定位机构和光路采集机构。移动定位机构设置于超低压等离子喷涂装置，用于进行定位作业，光路采集机构设置于移动定位机构，用于当移动定位机构定位后，采集并监测等离子喷涂装置的等离子射流。该光谱诊断辅助装置可实现多位置、多角度测量，通过透镜与挡光板选择可实现主动选择光的方向及采集量，还可通过Abel转换实现空间分辨率的测量。同时通过配合发射光谱仪(OES)使用，可实现OES在VLPPS上的在线诊断，既可指导开发新型工艺又可以监控涂层质量与设备运转状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 诊断 辅助 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光谱诊断辅助装置，用于配合光学发射光谱仪监测超低压等离子喷涂装置的等离子射流特性，其特征在于，包括：移动定位机构和光路采集机构，所述移动定位机构设置于所述超低压等离子喷涂装置，且用于进行定位作业，所述光路采集机构设置于所述移动定位机构，且用于当所述移动定位机构定位后，采集并监测所述等离子喷涂装置的等离子射流。
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