[发明专利]加工装置

摘要

提供加工装置，能够在任意的时刻容易地检测到在加工装置的各部位产生的振动。加工装置(10)具有对卡盘工作台(11)所保持的被加工物(W)进行加工的加工单元(40)，加工装置具有检测单元，检测单元在未利用加工单元进行加工的状态下对加工装置的状态进行检测。检测单元具有：振动源，其对加工装置赋予振动；振动传感器(55、56)，其设置于加工装置，对从振动源传播的各部位的振动进行测量；以及振动数据存储部(51)，其对振动传感器所测量出的振动数据进行记录并储存。振动源是具有使旋转轴(15、27、28、42)旋转驱动的电动机(16、19、29、30、43)的致动器，检测单元对各部位的振动进行测量直到在电动机以最高速旋转的状态下切断电力供给而使旋转轴以惯性旋转到停止为止。

主权项

1.一种加工装置，其具有对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工单元，其特征在于，该加工装置具有检测单元，该检测单元在未利用该加工单元进行加工的状态下对加工装置的状态进行检测，该检测单元包含：振动源，其对该加工装置赋予规定的范围的频率的振动；振动传感器，其设置于该加工装置的期望的部位，对从该振动源传播的各部位的振动进行测量；以及振动数据存储部，其对该振动传感器所测量出的振动数据进行记录并储存，该振动源是致动器，该致动器具有对旋转轴进行旋转驱动的电动机，该检测单元对各部位的振动进行测量，直到在该电动机以最高速进行旋转的状态下切断电力供给而使该旋转轴以惯性旋转到停止为止。