[发明专利]加工装置

说明书

提供加工装置，能够在任意的时刻容易地检测到在加工装置的各部位产生的振动。加工装置(10)具有对卡盘工作台(11)所保持的被加工物(W)进行加工的加工单元(40)，加工装置具有检测单元，检测单元在未利用加工单元进行加工的状态下对加工装置的状态进行检测。检测单元具有：振动源，其对加工装置赋予振动；振动传感器(55、56)，其设置于加工装置，对从振动源传播的各部位的振动进行测量；以及振动数据存储部(51)，其对振动传感器所测量出的振动数据进行记录并储存。振动源是具有使旋转轴(15、27、28、42)旋转驱动的电动机(16、19、29、30、43)的致动器，检测单元对各部位的振动进行测量直到在电动机以最高速旋转的状态下切断电力供给而使旋转轴以惯性旋转到停止为止。

技术领域

本发明涉及对被加工物进行加工的加工装置。

背景技术

在半导体晶片等的加工中所使用的加工装置大多具有通过旋转而进行加工的旋转工具。作为这种加工装置的一例，存在切削装置。切削装置具有：保持构件(卡盘工作台)，其对被加工物进行保持；以及加工构件(切削构件)，其构成为在旋转驱动的主轴上安装切削刀具，该切削装置构成为使保持构件和加工构件在加工进给方向和分度进给方向上相对移动。通过使主轴旋转驱动并且使保持构件和加工构件在加工进给方向上相对移动，使旋转的切削刀具切入至被加工物而进行切削加工，将作为被加工物的晶片分割成各个芯片。

但是，在利用这样的加工装置进行加工时，存在如下的问题：当加工构件或保持构件与通过电动机的旋转轴的旋转驱动而产生的规定频率的振动对应地发生共振时，会给加工精度带来不良影响。例如，在切削装置中，当由于主轴的旋转而使切削构件发生共振时，在切削刀具上产生振动，加工槽会产生大量的缺损而使器件的品质降低。另外，当在切削加工时保持构件发生共振的情况下，保持构件所保持的被加工物产生振动而使加工品质降低。除了切削装置以外，在如磨削装置、研磨装置、激光加工装置那样具有作为振动源的部位的加工装置中也存在同样的问题。

作为其对策，开发了如下的技术：能够通过对加工构件的重量进行调整而错开共振点，以使得加工构件不会与由电动机等的驱动而引起的振动发生共振(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2010-188433号公报

为了可靠地实现上述那样的共振对策，希望在加工装置中预先掌握会给加工品质带来影响的振动。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供加工装置，能够在任意的时刻容易地检测到由于振动源而在加工装置的各部位产生的振动。

本发明是加工装置，其具有对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工单元，其中，加工装置具有检测单元，该检测单元在未利用该加工单元进行加工的状态下对加工装置的状态进行检测。检测单元包含：振动源，其对加工装置赋予规定的范围的频率的振动；振动传感器，其设置于加工装置的期望的部位，对从振动源传播的各部位的振动进行测量；以及振动数据存储部，其对振动传感器所测量出的振动数据进行记录并储存。振动源是致动器，该致动器具有对旋转轴进行旋转驱动的电动机。检测单元对各部位的振动进行测量，直到在电动机以最高速进行旋转的状态下切断电力供给而使旋转轴以惯性旋转到停止为止。

本发明在加工单元的旋转轴是振动源的情况下特别有用。

根据本发明的加工装置，能够在任意的时刻容易地检测到由于振动源而在加工装置的各部位产生的振动，能够有助于防止给加工品质带来影响的振动的产生。

附图说明

图1是本实施方式的加工装置的立体图。

图2是示出搭载于加工装置的主轴的转速的变化与振动传感器所测量出的振动数据之间的关系的图。

标号说明