[发明专利]监控扫描式光刻机连续景深扩展程序功能的方法在审
| 申请号： | 201910254875.7 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109870882A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种监控扫描式光刻机连续景深扩展程序功能的方法，首先，对未开启连续景深扩展程序功能的产品进行数据收集；然后再开启扫描式光刻机的连续景深扩展程序功能，收集开启了连续景深扩展程序功能的产品的数据；对上述数据进行监控。上述数据的变化可导致ID bias的数值变化，通过监控ID bias的数值变化，实现对连续景深扩展程序功能的监控。 | ||
| 搜索关键词： | 程序功能 景深扩展 扫描式光刻机 监控 数值变化 数据收集 | ||
【主权项】：
1.一种监控扫描式光刻机连续景深扩展程序功能的方法，其特征在于：通过监控ID bias的数值变化，实现对连续景深扩展程序功能的监控；所述ID bias是指Dense图形与ISO图形之间的差值，即是在同一曝光条件下，曝光出来的密集图形CD与稀疏图形CD之间的差值；所述连续景深扩展程序功能，是指具备通过将晶圆承台倾斜一定角度，同时晶圆承台上下移动，对晶圆表面进行扫描进行曝光进而实现光刻工艺窗口增加的功能。
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