[发明专利]一种巨介电常数CCTO基薄膜材料的制备方法在审
| 申请号： | 201910196716.6 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109721353A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 黄延伟;曾和平 | 申请（专利权）人： | 上海朗研光电科技有限公司;华东师范大学 |
| 主分类号： | C04B35/465 | 分类号： | C04B35/465;C04B35/622;C04B35/624;C04B35/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200237 上海市闵行区虹*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于巨介电常数薄膜材料技术领域，具体为一种巨介电常数CCTO基薄膜材料的制备方法。具体为：先以钛酸四丁脂、硝酸铜、醋酸钙等含有金属阳离子源的材料为先驱物原料，以能溶解先驱物原料的水、无水乙醇、冰醋酸等为溶剂，配制含有钛源、铜源和钙源等的先驱物溶胶，即CCTO基材料的先驱物溶胶，将此溶胶静置一段时间进行老化，采用提拉法或旋涂法在玻璃或硅衬底上进行镀膜，然后置于红外灯下烘烤10‑30min，将烘烤过的薄膜在一定条件下进行激光辐照，除去有机溶剂及溶剂阴离子，即得到纯相的CCTO基薄膜材料，该制备方法成本低廉、快速高效，适合CCTO巨介电材料的推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 先驱物 巨介电常数 基薄膜 制备 烘烤 溶剂 金属阳离子 巨介电材料 钛酸四丁脂 薄膜材料 激光辐照 无水乙醇 有机溶剂 冰醋酸 醋酸钙 硅衬底 红外灯 基材料 提拉法 硝酸铜 旋涂法 阴离子 镀膜 钙源 铜源 钛源 薄膜 配制 溶解 老化 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种巨介电常数CCTO基薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将前驱物原料溶解于溶剂中，得到前驱物溶胶；将所述前驱物溶胶静置老化后，在基材表面进行镀膜，用红外灯进行烘烤，得到半成品；将所述半成品利用激光辐照进行退火后，除去水分和溶剂，得到所述巨介电常数CCTO基薄膜材料。
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- 本发明涉及一种MgTiO3基微波介质复合陶瓷及其制备方法，属于高技术功能陶瓷及其应用领域。本发明提出的MgTiO3基微波介质复合陶瓷是以MgTiO3为基质，以Ca0.5Sr0.5TiO3或者Ca0.5Sr0.5TiO3与LnAlO3(Ln＝Pr,Nd,La,Sm)之一的混合物为添加剂，经高温烧结复合而成。本发明通过两步法合成所述MgTiO3基微波介质复合陶瓷，即首先通过熔盐法分别制备得到了MgTiO3、Ca0.5Sr0.5TiO3和LnAlO3(Ln＝Pr,Nd,La,Sm)前驱体粉末，然后将基质与添加剂经混料、球磨、干燥、研磨、造粒、过筛、干压成型、高温烧结，最终获得了所述MgTiO3基微波介质复合陶瓷。本发明制备的MgTiO3基微波介质复合陶瓷材料致密度高、气孔少、介电常数大、品质因数高、介电损耗低、谐振频率温度系数接近于零，特别适合微波介质谐振器、滤波器和GPS天线中的高频应用。
- 一种中介电常数的微波介质陶瓷及其制备方法-201610022467.5
- 高峰;张大帅;王利;史芳军;宋皓宇;崔栋;袁姣 - 南京攀思特电子科技有限公司
- 2016-01-13 - 2018-09-11 - C04B35/465
- 本发明提供了一种中介电常数的微波介质陶瓷及其制备方法。本发明方法工艺简单，采用分步烧制的方式，先分别烧制得到BLT预烧粉和SLT预烧粉，二者在后续烧制过程中将得到(Sr1‑nBan)La4Ti4O15基体，充分保证所得中介电常数的微波介质陶瓷的综合介电性能；优选地，可根据需要加入Nd2O3进行烧制，按照所需化学计量比进行配料，Nd2O3能够均匀地进入(Sr1‑nBan)La4Ti4O15基体中，改善所得中介电常数的微波介质陶瓷的综合介电性能，得到介电常数高，Q×f值高，谐振频率温度系数稳定、接近于零的中介电常数的微波介质陶瓷，充分满足电子通信等领域的实际应用要求。
- 一种超低损耗型MgTiO3基微波介质陶瓷的制备方法-201810107738.6
- 李玲霞;许振鹏;杜明昆 - 天津大学
- 2018-02-02 - 2018-08-10 - C04B35/465
- 本发明公开了一种超低损耗型MgTiO3基微波介质陶瓷的制备方法，先将MgO、TiO2按化学计量式MgTiO3进行配料，经球磨、烘干、过筛，于900℃预烧；再添加3wt％～5wt％MgF2、0.7wt％PVA，再经球磨、烘干、过筛后压制成型为生坯，生坯于1200℃～1250℃烧结，制成MgTiO3基超低损耗型微波介质陶瓷。本发明具有高的品质因数(Qf～254000GHz)，和低的介电常数(εr～17.3)，实现了品质因数大于250000的突破。
- 一种高Q值岩盐类微波介质材料-201810200792.5
- 李玲霞;杜明昆;于仕辉;许振鹏;乔坚栗 - 天津大学
- 2018-03-12 - 2018-07-24 - C04B35/465
- 本发明公开了一种高Q值岩盐类微波介质材料，以MgO、TiO2、Al2O3、Nb2O5和Li2CO3为原料，目标合成物表达式为Li2Mg3Ti1‑x(Al1/2Nb1/2)xO6(0＜x≤0.95)。先按化学计量式进行配料，再经球磨、烘干、过筛后于900～1100℃预烧，再进行造粒，再经烘干、过筛后压力成型为生坯，生坯于1180℃‑1340℃烧结，制成高Q值岩盐类Li2Mg3TiO6基微波介质材料。本发明Qf值高达到143,115～162,429GHz，并具有较低的介电损耗，制备工艺简单，同时兼具适中的εr值13.21～14.31，由其制作成的微波介质器件具有广泛的应用前景。
- 一种钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜的水基制备方法-201511001331.8
- 吴云翼;李帅;刘晓鹏;王树茂 - 北京有色金属研究总院
- 2015-12-28 - 2018-06-15 - C04B35/465
- 本发明属于微电子新材料制备技术领域，特别涉及一种钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜的水基制备方法。本发明钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜使用水基溶胶凝胶方法制备，以去离子水作为溶剂，前驱体溶液浓度为0.05M～0.1M，在每次旋转涂覆后，都对经过干燥、热解的薄膜进行快速退火，退火气氛为空气，退火温度为600℃～800℃，退火时间为1分钟～4分钟。本发明制备的钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜结晶性能良好、表面致密均匀、界面清晰，明显地提高了钛酸铋钠薄膜的压电特性。 1
- 一种Nb2O5掺杂0.95MgTiO3-0.05CaTiO3陶瓷-201710789844.2
- 李蔚;韩蕊;傅文平 - 华东理工大学
- 2017-09-05 - 2018-05-25 - C04B35/465
- 本发明公开一种Nb2O5掺杂0.95MgTiO3‑0.05CaTiO3（95MCT）陶瓷。其特点是：首先以CaCO3和TiO2为原料合成CaTiO3粉体，以MgCO3和TiO2为原料合成MgTiO3粉体。将两种粉体以0.95molMgTiO3和0.05molCaTiO3的比例混合，再加上二者总量0.4‑1.0wt%的Nb2O粉，一起球磨混和后，干压成型制得素坯，将素坯放入电炉中，1350‑1450℃烧结2‑4h，即可得致密的Nb2O掺杂95MCT陶瓷。这种95MCT陶瓷具有优良的微波介电性能，其介电常数为19.89‑20.01，介电损耗tanδ为（1.04‑1.37）×10‑4，温度系数τf为3.32‑5.53 ppm/℃。本发明工艺简单，生产流程短，适合规模化生产。
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