[发明专利]单管剥膜机及单管加工系统在审

专利信息
申请号: 201910078889.8 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN109585355A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 廖东升;文少剑;王进华 申请(专利权)人: 深圳市杰普特光电股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 逯恒
地址: 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及激光技术领域,尤其是涉及一种单管剥膜机及包括该单管剥膜机的单管加工系统。单管剥膜机包括晶圆环、定位机构和顶针机构,蓝膜位于晶圆环上,定位机构用于承载晶圆环并带动晶圆环在水平面内移动,以改变顶针机构与蓝膜上单管的相对位置。位置调整后,使顶针机构的顶针穿过定位机构对准待取单管,驱动装置驱动顶针向上运动,由于蓝膜具有一定的弹性,因此顶针在向上运动过程中能够将对应的单管顶起,使单管部分脱离蓝膜,从而减小蓝膜上胶对单管的吸附力,便于吸笔将单管吸起。当顶针将单管的一端顶起时,单管下表面与蓝膜相分离,此时吸笔吸附时可以直接吸取单管的下表面,取下后非常容易将单管翻转过来,极大地便利了后续工序。
搜索关键词: 单管 蓝膜 顶针 剥膜 晶圆 顶针机构 定位机构 加工系统 向上运动 下表面 吸笔 激光技术领域 后续工序 驱动装置 位置调整 吸附力 相分离 翻转 减小 取下 上胶 吸附 承载 对准 穿过 驱动 便利 脱离 移动
【主权项】:
1.一种单管剥膜机,其特征在于,包括晶圆环、定位机构和顶针机构;蓝膜放置于所述晶圆环上,所述晶圆环位于所述定位机构上,所述定位机构能够带动所述晶圆环在水平面内移动;所述顶针机构位于所述定位机构下方;所述顶针机构包括顶针和驱动装置,所述驱动装置能够驱动所述顶针升降,使所述顶针穿过定位机构将所述蓝膜上的单管顶起或放下。
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