[发明专利]使用多脉冲等离子体源连续供应负离子的系统和方法

摘要

本公开涉及一种使用多脉冲等离子体源连续供应负离子的系统和方法。该系统包括：多个等离子体发生器，每个等离子体发生器用于通过将脉冲功率施加到来自气体源的负电性气体来产生等离子体；负离子供应单元，连接至等离子体发生器，以接收从其中传递的等离子体并连续供应离子；以及控制器，连接至多个等离子体发生器，并被配置成用于控制递送到各个等离子体发生器的脉冲功率的特性，以及用于调节与脉冲功率包络相关联的相移。通过调节相移，当等离子体发生器中的一个等离子体发生器中的等离子体处于活动辉光状态时，控制器使另一个等离子体能够处于后辉光状态。为了实现这一点，多个等离子体发生器根据相移以交替的方式生成等离子体。因此，从在后辉光状态下的一个等离子体发生器供应到负离子供应单元的负离子的附加供应可以补偿从在活动辉光状态下的另一个等离子体发生器到负离子供应单元的负离子供应的减少的量，导致连续供应负离子，同时使负离子供应单元中的负离子密度随时间保持恒定。