[发明专利]照明光学系统、曝光装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 201880069269.1 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN111279264A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 河野道生 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种照明光学系统被配置成包括：第一透镜阵列FE，该第一透镜阵列FE包括将从光源发射的光束分成多个光束的多个透镜单元；第二透镜阵列MLAi，该第二透镜阵列MLAi包括从第一透镜阵列中包括的透镜单元出射的点光被会聚在其中的透镜单元；以及第一光学构件IL3，该第一光学构件IL3使被会聚在第二透镜阵列中包括的透镜上的点光的图像形成在构成光学调制单元的一个光学调制元件上。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 曝光 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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