[发明专利]光学传感器的制造方法及光学传感器

摘要

提供了一种用于制造光学传感器(10)的方法。所述方法包括：提供光学传感器装置(11)，所述装置包括在载体(13)上的至少两个光学传感器元件(12)，其中光学传感器装置(11)包括在光学传感器元件(12)的背离载体(13)的一侧的光入射表面(14)。所述方法还包括：沿垂直于载体(13)的延伸主平面的垂直方向(z)在两个光学传感器元件(12)之间形成沟槽(15)，其中，所述沟槽(15)从传感器装置(11)的光入射表面(14)至少延伸到载体(13)。此外，所述方法包括：使用不透明材料(16)涂覆所述沟槽(15)；在载体(13)的背离光学传感器元件(12)的背侧(18)上形成用于至少两个光学传感器元件(12)的电接触(17)；以及沿着沟槽(15)切割光学传感器装置(11)形成至少一个光学传感器(10)。每个光学传感器(10)包括光学传感器元件(12)，光入射表面(14)没有电接触(17)，并且在光学传感器元件(12)上方至少部分地没有不透明材料(16)。此外，提供了一种光学传感器(10)。