[实用新型]静电吸盘背面氦气管路结构及氦气压力控制系统有效
| 申请号： | 201822241432.8 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209434145U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏华;刘东升;赵骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 栾美洁 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电吸盘背面氦气管路结构，包括背面氦气管路和抽真空管路，所述背面氦气管路连接外界冷却气体源和静电吸盘，所述抽真空管路一端连接至背面氦气管路中，另一端连接真空泵，所述抽真空管路串联有一单向阀和一逆流过滤器，所述单向阀位于逆流过滤阀与真空泵之间，所述逆流过滤器设于抽真空管路和背面氦气管路的连接处与单向阀之间。本实用新型还公开一种氦气压力控制系统。本实用新型通过单向阀和逆流过滤器可以避免抽真空管路中的大量污染气体进入背面氦气管路并在静电吸盘除静电过程中从失去静电吸附的晶圆边缘背面泄漏至反应腔体中，减少反应腔体被污染的情况，有效减少晶圆的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 氦气管路 背面 抽真空管路 静电吸盘 单向阀 本实用新型 逆流过滤器 反应腔体 氦气压力 控制系统 一端连接 真空泵 冷却气体源 晶圆边缘 静电吸附 逆流过滤 污染气体 有效减少 除静电 晶圆 泄漏 串联 污染 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸盘背面氦气管路结构，包括背面氦气管路和抽真空管路，所述背面氦气管路连接外界冷却气体源和静电吸盘，其特征在于，所述抽真空管路一端连接至背面氦气管路中，另一端连接真空泵，所述抽真空管路串联有一单向阀，所述单向阀位于抽真空管路和背面氦气管路的连接处与真空泵之间。
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