[实用新型]一种石墨坩埚的保护容器有效
| 申请号： | 201822023947.0 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN209292463U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种石墨坩埚的保护容器，包括金属外套、导热装置和坩埚本体，坩埚顶面开口设置。在坩埚本体外套设一个金属外套，并通过导热装置将金属外套与坩埚本体之间进行连接。因此在加热时，先对金属外套进行直接加热，再通过导热装置将金属外套的热量传递给坩埚，使得坩埚受热均匀，不易产生内应力，避免坩埚本体产生微裂纹，使得坩埚本体内的金属材料受热均匀，减少在蒸镀的升降温过程，避免坩埚本体在蒸镀过程中，坩埚本体的裂纹引起金属材料异常外泄和流失，规避了外部加热装置损坏的风险与避免生产中断的现象，有效的提高了蒸镀设备连续稳定运行的周期、保证了产品的品质和生产进度。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚本体 金属外套 坩埚 导热装置 金属材料 石墨坩埚 受热均匀 蒸镀 外部加热装置 本实用新型 顶面开口 热量传递 生产进度 稳定运行 蒸镀设备 直接加热 微裂纹 外泄 加热 升降 体内 中断 保证 生产 | ||
【主权项】：
1.一种石墨坩埚的保护容器，其特征在于：包括金属外套、导热装置和坩埚本体；所述导热装置设置于金属外套与坩埚本体之间，坩埚本体位于金属外套的内部，坩埚本体位于金属外套的顶面与金属外套的内部底面之间，导热装置用于将金属外套的热量热传递至坩埚本体上，所述坩埚顶面开口设置。
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