[实用新型]一种一炉多用的硅芯铸锭炉有效
| 申请号： | 201821957598.3 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN209481851U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 唐凌翔 | 申请（专利权）人： | 浙江晶阳机电有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 吴宏宇 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一炉多用的硅芯铸锭炉，包括支架，支架上固定安装有炉体，炉体内由炉体内壁向内依次设置有保温板层、加热层、石墨护板或石墨坩埚、石英坩埚；炉体包括上炉体、下炉体，上炉体和下炉体为分体式结构；支架至少有一个侧壁为开口结构侧；横向导向机构，纵向导向机构，下炉体固定在纵向导向机构上。在硅芯铸锭过程中，通过升降移动装置的纵向导向机构将下炉体与上炉体分离，利用横向导向机构将下炉体由支架内经开口结构运至支架外，从而对下炉体内的石英坩埚进行更换，以达到铸锭不同规格的硅芯，同时还可以铸锭4根尺寸一致的多晶硅锭，实现一炉多用。 | ||
| 搜索关键词： | 下炉体 支架 硅芯 纵向导向机构 上炉体 横向导向机构 开口结构 石英坩埚 铸锭炉 炉体 铸锭 体内 升降移动装置 本实用新型 分体式结构 保温板层 尺寸一致 多晶硅锭 炉体内壁 石墨坩埚 依次设置 铸锭过程 石墨 加热层 侧壁 护板 下炉 向内 | ||
【主权项】：
1.一种一炉多用的硅芯铸锭炉，其特征在于，包括支架，支架上固定安装有炉体，炉体内由炉体内壁向内依次设置有保温板层、加热层、石墨护板或石墨坩埚、石英坩埚；炉体包括上炉体、下炉体，上炉体和下炉体为分体式结构；支架至少有一个侧壁为开口结构侧；横向导向机构，所述横向导向机构一端位于开口结构侧外侧，另一端向所述开口结构侧处延伸并穿过开口结构且至少延伸至下炉体下方，纵向导向机构，所述纵向导向机构安装在横向导向机构上并由驱动机构驱动其在横向导向机构由支架外向支架内或由支架内向支架外运动，下炉体固定在纵向导向机构上。
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