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[实用新型]一种单晶炉用下腔体结构-CN201921638505.5有效
发明人：杨金海;周波 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-09-28 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉用下腔体结构，包括：工作台，其四个边角处皆设有垂直于地面的支撑脚；腔体结构，可拆卸的设于工作台上且腔体结构的容纳腔设于工作台的下方，所述容纳腔的上部开口且开口面与工作台齐平，所述容纳腔包括侧板和底板，底板的底面轴线上依次设有排气接口法兰、坩埚轴接口法兰和电极接口法兰；下保温桶，设于侧板的外围，所述下保温桶的外壁设有护套，所述底板的下方设有托盘。本实用新型具有热场温度梯度均匀性佳，能够提高控制的准确性，使用效果好的特点。
一种单晶炉用下腔体结构

[实用新型]一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚-CN201921125761.4有效
发明人：张岩 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，包括：依次首尾相接的坩埚长护板和坩埚短护板，所述坩埚长护板和坩埚短护板拼接为长方形的框体结构，坩埚长护板，由至少三块拼结板构成，相邻拼结板的连接处设置有连接板，所述连接板与坩埚长护板固定；坩埚短护板，设于坩埚长护板之间且两端与坩埚长护板相接。本实用新型的拼接结构的设计使得在高温条件下不易变形，便于安装，节约人力适合推广应用。
一种坩埚保护装置铸锭

[实用新型]一种多功能的铸锭炉-CN201921125791.5有效
发明人：唐凌翔 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多功能的铸锭炉，包括：长方形的多功能铸锭炉；石英坩埚，设于铸锭炉内；热场结构，所述石英坩埚上设有热场结构，该热场结构包括设于石英坩埚上方和侧面的加热器，所述热场结构外还设有保温板。本实用新型具有与现有技术相比，具备下述有益效果：1、热场结构：现有技术的多晶炉热场都是正方形，本多功能的铸锭炉的硅芯铸锭炉热场为长方形；2、加热方式：本硅芯铸锭炉热场为5面或者6面加热；3、铸造硅锭的规格：本硅锭铸锭炉可铸锭110块，产量大且成本低。
一种多功能铸锭

[实用新型]一种硅芯铸锭炉用隔热笼结构-CN201921125590.5有效
发明人：杨金海 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅芯铸锭炉用隔热笼结构，一种硅芯铸锭炉用隔热笼结构，硅芯铸锭炉用隔热笼结构包括：上笼体，所述上笼体为长方形且边角上设置有边框条，包括内角板一、外角板和拉板，所述内角板二首尾相接构成上笼体的上框架；下笼体，所述下笼体为长方形且边角上设置有边框条，设置于上笼体的下方，包括拉板和内角板二，所述内角板二首尾相接构成下龙体的下框架，该下框架与地面接触，所述拉板互相平行设置且设置于外角板和内角板二之间；拉板，包括支撑部和连接部，所述连接部对称设置于支撑部的两端，所述支撑部和所述连接部之间设置有弧形过渡部。本实用新型具有结构合理、使用效果好，不会因为使用或者运输变形的特点。
一种铸锭隔热结构

[实用新型]一种硅芯铸锭炉用加热结构-CN201921126745.7有效
发明人：杨金海 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅芯铸锭炉用加热结构，包括：顶板，所述顶板的下方平行设有均匀分布的顶部加热器，所述顶板侧面的四周皆设有均匀分布的侧面加热器，侧面加热器通过连接板与顶部加热器相连或侧面加热器和顶部加热器未通过连接板相连，顶部加热器与顶板之间设有石墨电极，所述顶板上方还连接有铜电极。本实用新型结构合理、控温均匀，对比现有技术的四面的加热方式，本实用新型采用五面加热，顶部加热+四周加热，解决了温控难度大的问题，而且采用三组并联的方式，将加热区平均分布。
一种铸锭加热结构

[实用新型]一种硅芯铸锭炉用炉体固定结构-CN201921125484.7有效
发明人：周波 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅芯铸锭炉用炉体固定结构，属于多晶技术领域，包括：一种硅芯铸锭炉用炉体固定结构，包括：炉体，该炉体为长方形，包括上炉体和下炉体，所述上炉体通过连接筋设于操作平台上，所述操作平台的下方设有支架，支架相连，支架的另一端与地面接触，所述连接筋与上炉体的上表面之间设有若干相互平行设置的加强筋；所述下炉体的侧边设有若干成对设置的支撑座，所述下炉体上还设有机架、支撑辅板、连接座和固定座。本实用新型的拼接结构的设计使得在高温条件下不易变形，本实用新型的硅芯铸锭炉用炉体固定结构能够使得炉体在工作过程中变形量变小，进而保证了炉体内水流的均匀性及热场温度的均衡性。
一种铸锭炉用炉体固定结构

[实用新型]一种硅芯铸锭炉用热场结构-CN201921124325.5有效
发明人：唐凌翔 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅芯铸锭炉用热场结构，包括：由内往外依次设置的石英坩埚，为长方形；加热器，设于石英坩埚的四周和顶部，包括上加热器和侧面加热器；保温层，设于加热器的外部，所述保温层包括侧保温层、底保温层和上保温层，所述侧保温层设于石英坩埚的四个侧面，所述底保温层设于石英坩埚的底面，所述上保温层设于石英坩埚的顶面；支撑柱，设于石英坩埚的底部；隔热笼，设于保温层的外部。本实用新型具有结构合理、使用效果好，本长方形热场结构能够在硅芯铸锭过程中，通过热场结构更好的为铸锭提供生长的环境，热场结构能更好的提高热场的保温性，确保铸锭工作的顺利进行；而且铸锭的尺寸没有局限性，产品的质量佳。
一种铸锭炉用热场结构

[实用新型]一种硅芯铸锭炉用保温筒提升装置-CN201821957145.0有效
发明人：唐凌翔 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅芯铸锭炉用保温筒提升装置，包括安装支架，安装支架包括第一安装支架、第二安装支架；第一安装支架上端安装第一直线模组，下端安装第一T型转向箱，第一T型转向箱具有位于水平向的第一输入轴、第一输出轴和位于竖直向的第二输出轴，第二输出轴连接第一直线模组的丝杆；伺服马达，伺服马达的输出轴连接第一T型转向箱的第一输入轴；提升杆，提升杆包括第一提升杆、第二提升杆，第一提升杆一端与保温筒固定连接，另一端固定连接第一直线模组的滑块，第二提升杆一端与保温筒固定连接，另一端固定连接第二直线模组的滑块。提高作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的传动轴易卡死、结晶失败的现象。
提升杆安装支架直线模组保温筒转向箱输出轴连接伺服马达提升装置输出轴输入轴铸锭炉硅芯滑块本实用新型技术作业传动轴水平向上端卡死竖直丝杆下端失败

[实用新型]一种带有移动升降装置的硅芯铸锭炉-CN201821957396.9有效
发明人：唐凌翔 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有移动升降装置的硅芯铸锭炉，包括支架，支架上固定安装有上炉体；下炉体上炉体和下炉体为分体式结构；驱动机构，驱动机构用于驱动所述的下炉体由支架的任一侧运动至上炉体正下方与上炉体配合。硅芯铸锭炉体使用驱动机构也即升降移动装置的作用如下：在硅芯铸锭炉作业过程中，通过将硅芯铸锭炉下炉体升降和移动，方便取出铸锭好的硅芯和向石英坩埚内投料，为作业提供了简单快捷的操作方法，同时提高了作业的时效性。
硅芯铸锭炉下炉体驱动机构上炉体支架移动升降装置升降移动装置本实用新型分体式结构石英坩埚作业过程时效性炉体投料铸锭升降取出驱动移动配合

[实用新型]一种一炉多用的硅芯铸锭炉-CN201821957598.3有效
发明人：唐凌翔 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种一炉多用的硅芯铸锭炉，包括支架，支架上固定安装有炉体，炉体内由炉体内壁向内依次设置有保温板层、加热层、石墨护板或石墨坩埚、石英坩埚；炉体包括上炉体、下炉体，上炉体和下炉体为分体式结构；支架至少有一个侧壁为开口结构侧；横向导向机构，纵向导向机构，下炉体固定在纵向导向机构上。在硅芯铸锭过程中，通过升降移动装置的纵向导向机构将下炉体与上炉体分离，利用横向导向机构将下炉体由支架内经开口结构运至支架外，从而对下炉体内的石英坩埚进行更换，以达到铸锭不同规格的硅芯，同时还可以铸锭4根尺寸一致的多晶硅锭，实现一炉多用。
下炉体支架硅芯纵向导向机构上炉体横向导向机构开口结构石英坩埚铸锭炉炉体铸锭体内升降移动装置本实用新型分体式结构保温板层尺寸一致多晶硅锭炉体内壁石墨坩埚依次设置铸锭过程石墨加热层侧壁护板下炉向内

[实用新型]一种真空可控制的单晶炉-CN201821957170.9有效
发明人：许永根 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空可控制的单晶炉，包括单晶炉，单晶炉上安装有连通所述单晶炉内的真空管道，真空管道连接真空阀，真空阀连接中间管，中间管连接干式真空泵，真空管道上设有真空计，还包括PLC控制箱，真空计传递信号至PLC控制箱，PLC控制箱根据接收的真空计传递的信号控制干式真空泵的变频器执行相应的指令。通过采用PLC、真空计、干式真空泵配合的设计，利用PLC控制箱接收真空计信号并控制变频器，从而控制干式真空泵执行相应的指令动作。具有减少工作时间，提高控制的准确性，低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的操作不方便、真空度不准确而造成晶棒被氧化的现象，从而为单晶炉作业提供符合工艺要求的真空度。
单晶炉真空计干式真空泵真空管道可控制真空阀中间管真空管本实用新型控制变频器传递信号工艺要求技术作业信号控制指令动作变频器晶棒连通指令传递配合

[实用新型]一种单晶炉用振动装置-CN201821968045.8有效
发明人：许永根 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用振动装置，包括炉体、电磁铁，电磁铁电性连接设置在炉体上的连接器，炉体内固定安装有固定盘，固定盘上安装电磁铁，固定盘的下方设有连接座，电磁铁的导杆与连接座固定连接，连接座上固定安装有弹簧导柱，弹簧导柱穿过固定盘且与所述固定盘之间滑动配合，弹簧导柱上端设有锁紧螺母，在弹簧导柱上位于锁紧螺母和固定盘之间的部分套设有弹簧，连接座下方安装布袋，布袋下端开口，上端封闭。可将抽取出来的杂质及时过滤并清理处理，以便于为单晶炉作业提供更安全稳定的真空度，从而保证单晶炉所拉制晶棒的品质。
固定盘电磁铁弹簧导柱单晶炉连接座锁紧螺母振动装置布袋炉体连接器本实用新型安全稳定电性连接滑动配合上端封闭下端开口拉制上端弹簧导杆晶棒抽取过滤体内穿过保证

[实用新型]一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉-CN201821957776.2有效
发明人：许永根 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C30B28/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉，包括炉体，炉体上安装与所述炉体的内腔连通的第一连接管，第一连接管连接智能阀，智能阀通过电连接智能阀控制器；还包括真空压力计；真空压力计通过电连接智能阀控制器。在硅芯铸锭过程中，采用本方案的炉压自动控制系统，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的控制精度低、产品质量差的现象；炉压自动控制系统，减少人为控制炉压的时间和劳动强度，提高控制的准确性；炉压自动控制系统，利用自动控制硅芯铸锭的炉压，有效的降低因炉压过高等因素对设备的影响，防止设备因炉压过高而发生事故，同时，因为其安全性高，便于推广。
炉压硅芯自动控制系统炉体智能阀控制器真空压力计电连接连接管智能阀铸锭炉本实用新型防止设备技术作业炉压过高内腔连通人为控制铸锭过程对设备质量差铸锭

[实用新型]一种单晶炉用控制柜结构-CN201821957644.X有效
发明人：许永根 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用控制柜结构，包括底座，所述底座上端面安装有控制箱，所述控制箱上端面设有立柱，立柱上固定有操作电脑，操作电脑上端固定设置安装板、指示灯，安装板上固定安装相机显示屏，操作电脑下端与所述控制箱上端面之间具有间隔，在竖直方向上，操作电脑与竖直方向呈锐角状斜向下设置，操作电脑上端固定在立柱上，底座下端面设有脚轮。在单晶硅作业过程中，通过控制柜对单晶炉进行控制，在对不同部位操作时，需要将控制柜移动，以便于更好的操作。
操作电脑单晶炉控制箱立柱控制柜结构上端固定安装板控制柜上端面竖直底座指示灯单晶硅本实用新型底座上端面相机显示屏斜向下设置作业过程锐角状下端面脚轮下端移动

[实用新型]一种带有上炉体旋转装置的单晶炉-CN201821957794.0有效
发明人：许永根 -专利权人： 浙江晶阳机电有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有上炉体旋转装置的单晶炉，包括支架，该支架为方立柱，方立柱上固定安装有驱动机构，驱动机构包括固定支架，固定支架一端安装小链轮以及驱动该小链轮转动的电机，另一端安装大链轮，大链轮、小链轮在固定支架上以自身轴线为中心转动，大链轮和小链轮之间通过齿形链配合传动；传动轴，传动轴上端穿过所述大链轮的中心孔且与大链轮径向固定配合，传动轴下端通过推力球轴承与承载件连接；单晶炉，单晶炉的上炉体与所述传动轴固定连接。在单晶硅作业过程中，通过上炉体旋转装置对单晶炉上炉体旋开或者闭合，传动精度高，以便于更好的操作。
大链轮单晶炉上炉体传动轴小链轮固定支架旋转装置驱动机构方立柱支架单晶硅本实用新型推力球轴承闭合径向固定配合传动中心转动自身轴线作业过程上端承载件齿形链中心孔传动下端旋开转动电机穿过驱动配合

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