[实用新型]立式扩散炉

摘要

一种立式扩散炉，包括竖向设置的炉体，所述炉体的内腔中安装有隔板，所述隔板位于炉体的顶部，并将内腔分隔为位于其上方的扩散腔和位于其下方的工作腔；所述炉体底部设置有与工作腔相连通出气管，所述炉体上安装有进气管，所述进气管内端伸入到炉体内的扩散腔中；所述隔板为设置有连通孔的孔板。立式扩散炉的炉体竖向设置，高温的工艺气体先进入扩散腔中水平分散，再通过隔板上的连通口向下流动到工作腔中，对工作腔中的硅片进行掺杂处理。工艺气体由隔板阻挡，再扩散腔中水平分散，能够消除气体自身重力对气体扩散的影响，使气体在扩散腔中能够扩散均匀，从而使工艺气体均匀的通过隔板的连通孔，对硅片进行掺杂作业，提高硅片的加工质量。

主权项

1.一种立式扩散炉，其特征在于，包括竖向设置的炉体(1)，所述炉体(1)的内腔中安装有隔板(2)，所述隔板(2)位于炉体(1)的顶部，并将内腔分隔为位于其上方的扩散腔(11)和位于其下方的工作腔(12)；所述炉体(1)底部设置有与工作腔(12)相连通出气管(3)，所述炉体(1)上安装有进气管(4)，所述进气管(4)内端伸入到炉体(1)内的扩散腔(11)中；所述隔板(2)为设置有连通孔(21)的孔板。