[实用新型]扩散炉有效
| 申请号： | 201821931370.7 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN209722362U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈海燕 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 32278 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 钱伟<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215011 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种扩散炉，包括炉体、进气装置及出气装置，所述炉体的一端设有炉口，所述炉体的另一端设有炉尾，所述进气装置和所述出气装置均与所述炉体连接，所述进气装置包括向所述炉体内输送气体的第一进气管道，所述出气装置包括向所述炉体外排放气体的排气管道，所述第一进气管道包括位于所述炉体内的第一进气管，所述第一进气管设有若干喷孔，所述喷孔朝向不同方向开口。本实用新型通过在进气管上设有朝向不同方向的喷孔，使喷孔可以在炉体内多个方向输送气体，改善炉体内气体分散不均匀问题，提升硅片质量。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 喷孔 出气装置 进气装置 进气管 本实用新型 进气管道 输送气体 体内 排放气体 排气管道 体内气体 不均匀 扩散炉 硅片 炉口 炉尾 开口 | ||
【主权项】：
1.一种扩散炉，包括炉体、进气装置及出气装置，所述炉体的一端设有炉口，所述炉体的另一端设有炉尾，所述进气装置和所述出气装置均与所述炉体连接，其特征在于：所述进气装置包括向所述炉体内输送气体的第一进气管道，所述出气装置包括向所述炉体外排放气体的排气管道，所述第一进气管道包括位于所述炉体内的第一进气管，所述第一进气管设有若干喷孔，所述喷孔朝向不同方向开口，所述喷孔之间的距离在炉尾到炉口的方向上逐渐增大。/n
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