[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821852911.7 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN208965021U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘东升;周梁;陈玉;周涛 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：蒸发源，蒸发源的一侧设有蒸气出口；弹性蒸镀腔体，弹性蒸镀腔体设有进气口，弹性蒸镀腔体背离进气口的一侧设有出气口，进气口与蒸发源的蒸气出口连接，且弹性蒸镀腔体的腔体壁设有调温层；与弹性蒸镀腔体连接的驱动机构；喷嘴，喷嘴与弹性蒸镀腔体的出气口连接。该蒸镀装置中，弹性蒸镀腔体可以扩张或收缩以增大或减小容积以收容气态材料，且弹性蒸镀腔体的腔体壁中设置有调温层可以保障在弹性蒸镀腔体内的气态材料维持气态，增加了蒸镀材料的利用率，减少停机维护清洗次数，从而提高产能，且使弹性蒸镀腔体内的气态材料有更好的均一性，有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀腔体 蒸镀装置 进气口 气态材料 蒸发源 蒸气出口 喷嘴 出气口 调温层 均一性 腔体壁 蒸镀腔 体内 本实用新型 驱动机构 蒸镀材料 蒸镀膜层 产能 减小 停机 清洗 收容 收缩 背离 维护 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源，所述蒸发源的一侧设有蒸气出口；弹性蒸镀腔体，所述弹性蒸镀腔体设有进气口，所述弹性蒸镀腔体背离所述进气口的一侧设有出气口，所述进气口与所述蒸发源的蒸气出口连接，且所述弹性蒸镀腔体的腔体壁设有调温层；与所述弹性蒸镀腔体连接、且用于控制所述弹性蒸镀腔体收缩或扩张的驱动机构；喷嘴，所述喷嘴与所述弹性蒸镀腔体的出气口连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821852911.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
