[实用新型]一种单晶硅用石英坩埚检查台有效
| 申请号： | 201821816403.3 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN209131550U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 石刚;毛炳全;高钧 | 申请（专利权）人： | 浙江美晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02;G01B5/28;G01N21/88 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅用石英坩埚制造领域，具体涉及一种单晶硅用石英坩埚检查台。包括下平台和滑轮；还包括上平台与旋转组件；旋转组件包括旋转轴与轴承；旋转轴底端装配于轴承内，顶端固设于下平台底面中央；轴承固设于下平台上端面中央；滑轮有若干个，相邻滑轮间距固定且沿直线排布为相互平行的两排，各个滑轮均通过基座设于上平台上端面。本实用新型与现有的技术相比，可以有效地提高对石英坩埚的检查效率及检查精度。 | ||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 单晶硅 下平台 滑轮 轴承 旋转组件 上端面 上平台 旋转轴 固设 本实用新型 底面中央 间距固定 相邻滑轮 直线排布 检查 检查台 有效地 底端 两排 装配 平行 制造 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅用石英坩埚检查台，包括下平台和滑轮；其特征在于，还包括上平台和旋转组件；所述旋转组件包括旋转轴与轴承；所述旋转轴底端装配于轴承内，顶端固设于下平台底面中央；轴承固设于下平台上端面中央；所述滑轮有若干个，相邻滑轮间距固定且沿直线排布为相互平行的两排，各个滑轮均通过基座设于上平台上端面。
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